谁知道物理气相沉积与化学气相沉积的区别
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文章题目：谁知道物理气相沉积与化学气相沉积的区别
【谁知道物理气相沉积与化学气相沉积的区别】物理气相沉积表示在真空条件下，采用物理方法，将材料源固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术 。
化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法 。
二者的区别区别：
化学气相沉积过程中有化学反应，多种材料相互反应，生成新的的材料 。物理气相沉积中没有化学反应，材料只是形态有改变 。物理气相沉积技术工艺过程简单，对环境改善，
小知识
无污染，耗材少，成膜均匀致密，与基体的结合力强 。缺点膜一基结合力弱,镀膜不耐磨, 并有方 向性 化学杂质难以去除 。优点可造金属膜、非金属膜，又可按要求制造多成分的合金膜，成膜速度快，膜的绕射性好 。
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