硬件 ASML将赴韩国建EUV设备再制厂及培训中心 预计2025年建成

据韩国经济日报报导 , 5月13日韩国产业通商资源部(The Ministry of Trade, Industry and Energy , MOTIE)对外宣布 , 全球光刻机龙头大厂艾司摩尔(ASML)计划赴韩国打造EUV 再制造(remanufacturing)厂及培训中心 。
硬件 ASML将赴韩国建EUV设备再制厂及培训中心 预计2025年建成
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【硬件|ASML将赴韩国建EUV设备再制厂及培训中心 预计2025年建成】据介绍 , ASML未来4年将在韩国投资2,400亿韩元(2.1亿美元) , 于京畿道华城市打造一座EUV光刻设备再制造厂以及一家培训中心 。所谓再制造 , 是指通过必要的拆卸、检修和零部件更换等 , 将废旧产品恢复如新的过程 。
想要打造先进制程的半导体生产线 , 一定要设法取得关键半导体设备 。应用材料、ASML、泛林半导体、东京电子是全球前四大半导体设备厂商 , 总体的市占率高达60%左右 。问题是 , 这些半导体设备厂每年只能生产一定数量的机台 , 交货时间也比较长 。
特别是对于7nm以下先进制程所必须的EUV光刻机来说 , 目前ASML是全球唯一一家能够生产EUV光刻机的半导体设备供应商 。但是目前ASML的EUV光刻机产能十分有限 , 一年只能生产30台左右EUV光刻机 。据韩国媒体报道称 , 目前台积电已取得了50台EUV设备 , 而三星仅有10台 。
此次ASML计划在韩国新建的EUV再制厂 , 主要用途就是为韩国当地运行的EUV光刻机维护、升级提供助力 。
据了解 , 韩国MOTIE及京畿道政府将针对ASML的授权、扩张当地业务事宜提供协助 。而上述设施预计2025年底前落成 , 未来将在韩国聘用超过300名专业人才 。
另外值得一提的是 , 报道还指出 , 目前美国半导体设备大厂泛林半导体(Lam Research Corp.)将扩大对韩国的投资南 。报道引述业界消息指出 , 泛林半导体已将韩国的生产目标提高一倍 , 正在寻找合适的地点建立新厂 , 以便扩充产能 。
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