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合肥至微项目总投资近10亿元
2020年3月正式开工
2020年12月
项目设备基本搬入调试
2021年3月进入试生产阶段
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△合肥至微半导体鸟瞰
合肥至微半导体有限公司
是至纯科技旗下半导体晶圆再生
和部件再生项目的载体
为集成电路企业12英寸晶圆
提供晶圆再生及零部件再生服务
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晶圆再生指的是
通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷 , 使处理后的晶圆达到新片的标准 , 实现其循环再利用 , 进而为企业节约大量成本 。 至微项目以14纳米晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础 , 是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线 。
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晶合的晶圆产品
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该项目全面达产后
可形成每年168万片晶圆再生
及120万件零部件清洗能力
满产后年产值可超过6亿元
采访人员 | 小路 刘泉
视频制作 | 余爱华
编辑 | 聂丽琳
【项目|填补空白!全国首条在合肥量产】审核 | 郭矗
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