【公司|上海新阳：ASML-1400光刻机已进入合作方场地】证券时报e公司讯 ， 上海新阳(300236)3月8日晚间披露ASML-1400光刻机进展公告 ， 该光刻机设备于今日已进入合作方北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司场地 ， 后续将进行安装调试等相关工作 。 公司采购的ASML干法光刻机设备顺利交付 ， 对加快193nm ArF干法光刻胶产品开发进度有积极影响 。
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