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▲全球光刻胶市场规模
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▲ 2018 光刻胶全球分布格局
全球半导体光刻胶领域主要被 JSR、 TOK、罗门哈斯、信越化学、富士材料等头部厂商垄断 , 尤其是高端 EUV 和 ArF 光刻胶几乎完全被美国和日本控制 。国产光刻胶企业无论是技术水平还是市场份额均远落后世界先进厂商 。
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▲光刻胶全球竞争格局
东京应化:全球光刻胶龙头 。东京应化成立于 1936 年 , 在 1968 年和 1972 年分别开发出负性光刻胶和正性光刻胶后 , 一直以成为光刻胶龙头供应商为目标 , 走在半导体微加工技术的前列 。2006 年 , 公司就率先投资研发 ArF 浸没光刻胶所需技术 , 2019 年公司同样是引领 10nm 以下制程 EUV 光刻胶的企业之一 。
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▲东京应化发展历程
东京应化的材料和设备被广泛应用于半导体制造、半导体封装 & MEMS 制造、 3D 封装领域、面板制造领域 , 且具有相当竞争优势 。公司光刻胶主要覆盖半导体前端、后端制造和先进封装 。
此外 , 公司还积极布局结构性材料、表面改性材料、微处理薄膜、毫米波吸收器等高附加值材料 , 开拓新业务领域 。
JSR:光刻胶巨头 。JSR 成立于 1957 年 , 自 1969 年以来 , JSR 已将其石化业务从合成橡胶扩展到包括乳液、塑料和其他材料 , 并利用专有聚合物技术扩大了半导体、平板显示器和光学材料领域的业务运营 。根据公司年报 , JSR 在 FY2019 实现营收 4720 亿日元 , 营运利润 329 亿日元 。
JSR 于 1979 年进入光刻胶领域 。目前 , 公司光刻胶业务隶属于数字解决方案部门 , 主要用于半导体和显示行业 。
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▲JSR 发展历程
信越化学:实力强劲的综合性化工企业 。信越化学是日本最大的化工企业 。公司成立于 1926 年 , 前身为信越氮肥料株式会社 。上世纪 60 年代 , 公司是最早向海外扩张的日本化工企业 。1998 年 , 公司实现了光刻胶产品的商用化 。
信越化学在 PVC、半导体硅等多个领域处于国际龙头地位 。其中 PVC、硅晶圆、合成石英、先进光掩模版、合成信息素方面的全球市占率第一;在光刻胶和甲基纤维素方面全球第二;在硅树脂方面全球第四 。公司目标成为所有品类的全球领导者 。
纵观光刻胶的历史 , 美国柯达的 KTFR 光刻胶是光刻技术的开天辟地之作 。直到 1980s , IBM 依然在 KrF 光刻胶技术方面遥遥领先 , 日本企业在 90 年代才实现 KrF 光刻胶的量产 , 落后 IBM 至少十年 。
但是 , 如今的光刻胶企业主要是日系厂商 。这说明 , 光刻胶技术必须要与光刻机和制程工艺相匹配才能开启成功之路 。我们认为 , 日本光刻胶企业的成功离不开半导体产业的天时、地利、人和 。
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▲光刻胶历史变迁
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▲英特尔制程发展史
日本虽然赢在了 KrF 光刻胶的“天时” , 但是当时 IBM 并没有在技术性能上落后 。初步奠定日本光刻胶全球核心地位 , 更多是依靠“地利” 。
进入 21 世纪后 , 全球半导体产业已经从日本转移到了中国台湾地区和韩国 。同时 , 尼康也被 ASML 超越 , 失去了全球光刻机的龙头地位 。日本光刻胶产业在接连失去了光刻机和晶圆制造两大驱动力之后 , 却依然屹立全球之巅 , 其根本原因在于“人和” 。
光刻胶的“人和”主要体现在日本光刻胶企业数十年的技术储备、专利申请、产业经验 。在目前 IDM 模式向 Fabless-Foundry 模式转变和半导体产业链全球分工的时代背景下 , 日本选择了专精光刻胶等半导体材料产业 , 利用专利技术构筑起极高的行业壁垒 , 形成寡头垄断格局 。
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