平面度测量方法
平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差 。平面度测量是指被测实际表面对其理想平面的变动量 。
测量方法：
1、塞尺测量法 。塞尺主要用于间隙间距的测量，对平面度的测量只能进行粗测 。塞尺使用前必须先清除塞尺和工件上的污垢与灰尘 。使用时可用一片或数片重叠插入间隙，以稍感拖滞为宜 。测量时动作要轻，不允许硬插 。由于其精度不高，检测效率较低，结果不够全面，只能检测零件边缘 。
2、液平面法 。液平面法是用液平面作为测量基准面，液平面由 “连通罐”内的液面构成，然后用传感器进行测量 。基于连通器工作原理，适合测量连续或不连续的大平面的平面度，但测量时间长，且对温度敏感，仅适用于测量精度较低的平面 。
【平面度测量方法】3、打表测量法 。打表测量法是将被测零件和测微计放在标准平板上，以标准平板作为测量基准面，用测微计沿实际表面逐点或沿几条直线方向进行测量 。
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