Prismo|中微公司:新型 Mini LED 生产设备订单超 100 腔

IT之家 12 月 9 日消息 , 今日中微公司宣布 , 旗下的 Prismo UniMax MOCVD 设备订单超 100 腔 , 迎来新的里程碑 。 MOCVD 意为一种新型气相外延生长技术 , 可以在衬底上生成金属有机化合物的化学气相沉淀 。
【Prismo|中微公司:新型 Mini LED 生产设备订单超 100 腔】中微公司的 Prismo UniMax MOCVD 设备于今年 6 月发布 , 主要用于氮化镓基 Mini LED 外延片的量产 , 成品可用于制造电视、笔记本、平板电脑等显示屏 。

Prismo|中微公司:新型 Mini LED 生产设备订单超 100 腔
文章图片

Prismo UniMax MOCVD 设备专为高性能 Mini LED 量产而设计 , 通过创新的多区温度调节系统 , 能精确控制托盘局部区域温度 , 有助于更大程度上提升 LED 波长均匀性 。 此外 , 优化的喷淋头设计实现了更好的均匀性和产出稳定性 , 新一代直流电源进一步提升了电能转化效率 。
这款设备配备 785mm 大直径石墨托盘 , 通过石墨托盘的不同设计 , 最多可以同时加工 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸外延晶片 , 能提高产能并有效降低 Mini LED 生产成本 。 Prismo UniMax? 在同一系统中可配备多达 4 个反应腔 , 每个反应腔都可以独立控制 。
IT之家了解到 , Prismo 系列产品还包括 Prismo D-BLUE、Prismo A7 和 Prismo HiT3 , 首款设备于 2013 年正式发布发布 , 目前中微公司的 MOCVD 设备在行业内主要的 LED 生产线上全面投入量产 。

    推荐阅读