材料|2D半导体可替代硅,英特尔、台积电等解决硅基设备材料限制( 二 )



材料|2D半导体可替代硅,英特尔、台积电等解决硅基设备材料限制
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沉积金破坏了 2D 半导体 。 但是铟和锡沉积在二硫化钼上 , 保护半导体
与 Kumar 研究不同的是 , 芯片制造商台积电和英特尔找到了不同的解决方案——锑 。 台积电专门研究低维芯片的 Han Wang 表示 , 通过使用半金属作为触点材料来降低半导体和触点之间的能量障碍 。 半金属(例如锑)是一种介于金属和半导体之间且带隙为零的材料 , 由此产生的肖特基势垒非常低 , 因而台积电和英特尔设备的电阻都很低 。
此前 , 台积电曾研究过另一种半金属——铋 , 但它的熔点太低 。 Wang 表示 , 锑具有更好的热稳定性 , 这意味着它与现有的芯片制造工艺更兼容 , 产生更持久的器件 , 并允许芯片制造过程的后半部分具有更大的灵活性 。
除了制造更好的器件之外 , IMEC 的研究人员在探索商用 300 毫米硅晶圆上集成 2D 半导体的途径 。 使用 300 毫米晶圆 , IMEC 探索了 2D 器件最终可以到达多小 。 研究人员使用二硫化钨作为半导体 , 进而形成了双栅极晶体管 , 其中二硫化钨夹在顶部和底部电极之间 , 控制电流通过 。 通过使用模式技巧 , 他们将顶部栅极缩小到 5 纳米以下 。 但是该特定设备的性能并不理想 , 不过研究者指出了改进方法 。

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IMEC 制造了一种栅极长度小于 5 纳米的二硫化钨晶体管
当今 , 主流的芯片架构采用横向传输场效应晶体管(FET) , 例如鳍式场效应晶体管(FinFET) , 因硅体类似鱼背鳍而得名 。 FinFET 在设计上沿着晶圆表面对晶体管分层 , 电流沿水平方向流动 。 但是 , 为了继续缩小器件的尺寸 , 同时仍然驱动足够的电流通过 , 领先的芯片制造商正在转向纳米级器件 。
尽管像 IMEC 这样的双栅器件是 2D 研究的标准 , 但是 , 来自北京大学和国家脉冲强磁场科学中心的工程师们却更进一步 。 由吴燕庆教授领导的研究小组使用两层二硫化钼模拟了这种结构 。 事实证明 , 该器件不仅仅是其各部分的总和 , 与其单层器件相比 , 2D 纳米片的跨导要领先两倍 , 这意味着对于给定的电压 , 它可驱动的电流是其他器件的两倍多 。
英特尔模拟了更极端版本的堆叠式 2D 器件 , 研究人员使用了六层二硫化钼和 5 纳米栅极长度 , 而吴燕庆教授领导研究小组只使用了两层二硫化钼和 100 纳米栅极长度 。 与具有相同垂直高度和 15 纳米栅极长度的模拟硅器件相比 , 2D 器件封装在两个纳米薄片中 , 性能更好 。 尽管电子通过二硫化钼的速度比通过硅的速度要慢 , 并且接触电阻要高得多 。

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