【材料|晶瑞电材：高端KrF（248）光刻胶已完成中试 进入客户测试阶段】证券时报e公司讯 ， 晶瑞电材(300655)表示 ， 公司高端KrF（248）光刻胶已完成中试 ， 建成了中试示范线 ， 已进入客户测试阶段 。 近期已购得KrF光刻机一台 ， 可用于KrF光刻胶的曝光测试 ， 同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中 。 目前ArF（193）高端光刻胶研发工作已正式启动 ， 已完成光刻机、匀胶显影机、扫描电镜、台阶仪等设备购置 ， 其中ASML1900Gi型光刻机设备正在积极调试中 。 同时公司正在积极开展对上游材料树脂单体及配方的研究 。
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