据新华社电 中国电子科技集团有限公司17日对外公布 ， 该集团旗下装备子集团攻克系列“卡脖子”技术 ， 已成功实现离子注入机全谱系产品国产化 ， 包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机 ， 工艺段覆盖至28nm ， 为我国芯片制造产业链补上重要一环 ， 为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案 。
【及第|芯片制造关键设备再突破 离子注入机实现全谱系产品国产化】编辑 林玮琪
来源：新华社
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