荷兰光刻机为什么厉害 荷兰光刻机厉害的原因
1、强大的研发投入:光刻机是一个高精尖的技术 , 其技术难度是全球公认的 , 如果没有持续强大的研发投入根本不可能到技术领先 。ASML从成立至今 , 对于研发的投入都非常大 , 比如2019年ASML的销售额大概是21亿欧元 , 而研发费用支出就达到了4.8亿欧元 , 研发费用占营收的比例达到22.8% , 这个比例是非常高的 , 正因为有大量资金的投入 , 所以ASML在关键技术领域一直处于领先地位 。
【荷兰光刻机为什么厉害 荷兰光刻机厉害的原因】2、美国以及欧盟的支持:虽然ASML是一家荷兰公司 , 但他背后却有着欧盟以及美国的力量 , 多关键技术都由美国以及欧盟国家提供 。比如德国先进的机械工艺以及世界级的蔡司镜头 , 再加上美国提供的光源 , 这就使得ASML公司在光科技术方面飞速发展 , 几乎到达了无人能敌的境地 。
3、准确抓住了技术转折点:目前世界最顶尖的光刻机有三个厂家 , 分别是ASML , 尼康和佳能 。2007年之前这三大厂家其实并没有太大的差距 , 竞争的转折点是出现在2007年 。2007年ASML配合台积电的技术方向 , 推出了193纳米的光源浸没式系统 , 在光学镜头和硅晶圆片导入液体作为介质 , 在原有光源与镜头的条件下 , 能显著提升蚀刻精度 , 并成为高端科技的主流技术方案 。而当时日本的尼康与佳能却主推157纳米光源的干式光刻 , 这个路线后来被市场所放弃 , 也成为尼康跟佳能迈入衰退的一个转折点 , 后来才有了ASML的垄断 。
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